Большой энциклопедический политехнический словарь - микроэлектроника от микро и электроника

направление электроники, связанное с созданием приборов и устройств в микроминиатюрном исполнении и с использованием групповой (интегральной) технологии их изготовления. Возникновение М. в нач. 60-х гг. 20 в. было вызвано непрерывным усложнением ф-ций и расширением областей применения электронной аппаратуры, что требовало уменьшения её габаритных размеров и массы, повышения быстродействия и надёжности. Основу элементной базы М. составляют интегральные схемы (преим. полупроводниковые), выполняющие заданные функции блоков и узлов электронной аппаратуры, в к-рых объединено большое число микроминиатюрных элементов и электрич. соединений, изготовляемых в едином технологич. процессе. М. развивается в направлении уменьшения размеров содержащихся в ИС элементов (до 0,1 - 1 мкм), повышения степени их интеграции (до 106 - 107 элементов на кристалл), плотности упаковки (до 10* элементов в 1 мм2), а также использования разл. по принципу действия приборов (опто-, акусто-, криоэлектронных, на цилиндрич. магн. доменах и др.).